洁净棚的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。
然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。

◎10~100级洁净棚：要是内部净化级别达到100级或以上，就要使室内的洁净气流形成单项垂直流。
就是说在洁净室内的气流在同一截面的任意一点气流的方向和速度保持一致，这样就可以使洁净气流像活塞一样将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现垂直流就要将高效过滤器布满屋顶，才能实现单项垂直流，达到洁净度100级或以上的级别。

◎1K~100K洁净棚：其气流组织方向和Class1~100洁净棚不同，内部的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流和涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释内部空气，将内部的污染逐渐排出，来实现洁净效果。
要实现洁净棚的等级不同，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现的。

1、风速的控制

洁净棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选择在0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。
速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。